飛納臺式電鏡能譜一體機的制造是依據(jù)電子與物質的相互作用。當一束高能的人射電子轟擊物質表面時，被激發(fā)的區(qū)域將產(chǎn)生二次電子、俄歇電子，并通過抽氣管道與鏡筒相聯(lián)接，中間鏡主要通過對勵磁電流的調節(jié)，僅以電子束盡量聚焦在樣本的一小塊地方，然后一行一行地掃描樣本，入射的電子導致樣本表面被激發(fā)出次級電子。
顯微鏡觀察的是這些每個點散射出來的電子，放在樣品旁的閃爍晶體接收這些次級電子、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射，通過放大后調制顯像管的電子束強度，從而改變顯像管熒光屏上的亮度，組成樣本的原子的原子量，它的光路與光學顯微鏡相仿，可以直接獲得一個樣本的投影。
借助該系統(tǒng)，既可觀察樣品的表面形貌，又可分析其元素組分，可以使用戶實現(xiàn)多點分析，檢測樣品的元素組分。此外分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導出分析數(shù)據(jù)。
飛納臺式電鏡能譜一體機是全數(shù)字化控制，專業(yè)電子顯微成像分析儀器，配置有三級電磁透鏡，大變焦范圍，長工作距離，多孔徑光闌，輕松獲得材料表面高分辨、高質量的微觀形貌導航圖，能夠對微米亞微米范圍化學元素組成進行快速鑒定，即使未經(jīng)專業(yè)培訓，也能夠得心應手。
硬件特征：
1、全數(shù)字控制，專業(yè)級電子顯微成像儀器；
2、標配SE探測器，選配BSE探測器 ；
3、可選樣品倉低真空環(huán)境功能，直接測試非導電樣品；
4、XYZ三軸大行程自動樣品臺，可選RT軸自動控制；
5、多重彈簧橡膠隔振減振系統(tǒng)；
6、主機設計緊湊，系統(tǒng)高度集成，良好散熱及電磁兼容性能；
7、輕質合金外殼，數(shù)字加工成型，具有良好電磁屏蔽功能。
