高分辨率臺式掃描電鏡的檢定和校準是確保其性能穩(wěn)定、測量準確的重要步驟。以下是一些基本的檢定和校準方法：
1.機械部分檢定與校準
-樣品臺運動精度：使用千分尺等精密量具，對樣品臺在X、Y、Z方向的運動范圍和精度進行測量。檢查樣品臺移動是否平穩(wěn)、有無卡頓或回程誤差等，確保樣品臺能夠準確地將樣品移動到電子束照射的位置。
-鏡頭對準與聚焦：通過觀察標準樣品(如具有清晰特征的微柵格樣品)在不同放大倍數(shù)下的成像情況，調(diào)整鏡頭的對準和聚焦。確保電子束能夠準確地聚焦在樣品表面上，獲得清晰的圖像。
2.電子光學系統(tǒng)檢定與校準
-電子槍發(fā)射電流穩(wěn)定性：在規(guī)定的工作條件下，長時間監(jiān)測電子槍的發(fā)射電流，檢查其穩(wěn)定性。發(fā)射電流的波動應(yīng)控制在較小范圍內(nèi)，以保證電子束的強度穩(wěn)定，從而獲得一致的圖像亮度和對比度。
-電磁透鏡電流穩(wěn)定性：對電磁透鏡的電流進行監(jiān)測和校準，確保其在工作過程中保持穩(wěn)定。透鏡電流的變化會影響電子束的聚焦和成像質(zhì)量，因此需要定期檢查和調(diào)整。
-電子束對中與合軸：使用專門的對中裝置或軟件工具，對電子束進行對中和合軸調(diào)整。使電子束通過各個電磁透鏡的中心，確保電子束在傳輸過程中不會發(fā)生偏移或畸變，從而提高成像的清晰度和準確性。
3.成像系統(tǒng)檢定與校準
-圖像分辨率測試：使用分辨率測試樣品，如具有不同間距線條或顆粒的標準樣品，觀察掃描電鏡在不同放大倍數(shù)下能夠分辨的細節(jié)。通過比較實際觀察到的分辨率與儀器標稱分辨率，判斷成像系統(tǒng)的分辨率是否達標，并根據(jù)需要進行校準。
-圖像畸變校正：檢查圖像是否存在畸變，如枕形畸變、桶形畸變等。可以通過拍攝具有規(guī)則幾何形狀的標準樣品，如網(wǎng)格樣品，然后使用圖像處理軟件對畸變進行定量分析，并根據(jù)分析結(jié)果對成像系統(tǒng)進行校正。
-亮度和對比度均勻性：在不同放大倍數(shù)和不同位置下，觀察圖像的亮度和對比度是否均勻。如果不均勻，可能是由于電子束的強度分布不均勻、探測器的靈敏度差異或其他因素導致的。需要對相關(guān)部件進行調(diào)整或校準，以確保圖像的亮度和對比度在整個視場內(nèi)保持一致。
4.高分辨率臺式掃描電鏡的真空系統(tǒng)檢定與校準
-真空度測量與校準：使用高精度的真空計，對掃描電鏡的真空度進行測量。檢查真空系統(tǒng)是否能夠達到規(guī)定的真空度要求，并且在不同的工作狀態(tài)下保持穩(wěn)定。如果真空度不符合要求，需要檢查真空泵的性能、真空閥門的密封性以及真空系統(tǒng)的泄漏情況，并進行相應(yīng)的維修和校準。
-真空系統(tǒng)的檢漏：采用氦質(zhì)譜檢漏儀等專業(yè)設(shè)備，對真空系統(tǒng)進行檢漏。查找可能存在的泄漏點，如管道連接處、閥門密封處等，并及時進行修復，以確保真空系統(tǒng)的完整性和密封性。
5.電氣系統(tǒng)檢定與校準
-電源穩(wěn)定性：使用電壓表、電流表等儀器，對掃描電鏡的電源進行監(jiān)測，檢查電源的輸出電壓和電流是否穩(wěn)定，紋波系數(shù)是否符合要求。不穩(wěn)定的電源可能會對電子槍、電磁透鏡等部件的工作產(chǎn)生影響，導致圖像質(zhì)量下降或儀器故障。
-電氣接地：檢查掃描電鏡的電氣接地是否良好。不良的接地可能會導致電氣干擾，影響儀器的正常運行和測量結(jié)果的準確性。確保接地電阻符合安全標準和儀器的要求。
